[使用可]
クライオFE-SEMシステム(電界放出形走査電子顕微鏡)
電界放出形走査電子顕微鏡装置(JSM-7800F)は、高性能電子光学系より真空中において、一点集束発生させた電子線を試料へ照射する事により、試料から二次電子や反射電子を放出させる装置です。二次電子は主に試料表面の凹凸による情報が得られ、反射電子は試料を構成する物質の原子番号に依存し、照射した部位から放出される平均元素番号が低い部位は暗く、高い部位は明るく観察できます。この反射電子からエネルギー分散型X線分光器（JED-2300）にて元素分析も解析可能です。また、本装置には、クライオトランスファーシステム(ALTO2500)が搭載され、含水試料や熱に弱い試料の観察も可能です。分解能としては、光化学系にスーパーハイブリットレンズ(SHL)を搭載し0.8nm(15KV),1.2nm(1KV)の高い分解能が得ることが出来ます。
（設置場所：霞キャンパス）